平板直線電機除具有普通直線電機的優點以外，平板平面型直線電機的動定子間有氣隙隔開，因此具有非接觸特點，無磨損，超平滑運動，且可以聯接成較長的長度，跟蹤誤差小，精度較高，回應快。
連續、峰值推力大； 模塊化設計； 試用真空及嚴酷環境； 超低齒槽力、可以實現極平穩的運動。 配合直線光柵尺的使用，可達到高精度。
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